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玻璃参数及性能
玻璃厚度
0.2mm~1.1mm
表面粗糙度
＜1nm
光透视比τvD65in%
91.9%
平均线性热膨胀系数n（静态测量)
3.2(20°C-300°C/10-6K-1)
转变温度 Tg
717℃
1MHz下介电常数εr
5.1
折射率 n
1.5099
密度ρ(40°C/h下退火)
2.43 g/cm3
可供晶圆尺寸
2"方片、6"、8"圆片
损耗角正切tgδ/介质损耗
4.9×10-3（5Ghz）
3.5×10-3（1Ghz）
2.8×10-3（1MGhz）
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